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誠(chéng)澤機(jī)械現(xiàn)貨供應(yīng)-三級(jí)水環(huán)羅茨真空泵哪里有賣 :
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干式真空泵日常維修及保養(yǎng)注意事項(xiàng)
對(duì)于整個(gè)真空泵行業(yè)來(lái)說(shuō),在未來(lái)干式真空泵 將成為行業(yè)發(fā)展的主流趨勢(shì),雖然現(xiàn)在用的還不多,除了價(jià)格高原因外,還有用戶對(duì)干式真空泵的了解不到位,看不到帶
濟(jì)效益,下面小編就來(lái)給大家介紹一下干式真空泵維修和保養(yǎng)。
對(duì)于這些不同類型的干式真空泵,我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,水噴射真空羅茨真空泵哪里有賣,因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比,濕式羅茨真空泵哪里有賣,物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然,還有一個(gè)影
速率的重要因素,那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉(zhuǎn)速。真空泵維修保養(yǎng)非常重要。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法,一是改變
采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中,采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制,但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法,當(dāng)然,它只能提供不可控
現(xiàn)在,可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì),它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái),使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行
去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低,影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì),同多級(jí)泵如圓裂片式,爪式以及
在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。
綜合考慮,如果用戶認(rèn)為耗電量對(duì)他來(lái)說(shuō)*為重要而氮?dú)庥昧繉?duì)他來(lái)說(shuō)*不重要,那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個(gè)好的選擇。但普遍說(shuō)來(lái),多級(jí)干式羅茨真空泵哪里有賣,對(duì)尾氣處理越來(lái)越嚴(yán)格的要求使得將來(lái)對(duì)減少氮?dú)獾挠昧?br />果你希望用單一類型的泵不經(jīng)過(guò)改變來(lái)處理各種不同的半導(dǎo)體工藝,而使得你的庫(kù)存控制簡(jiǎn)單化,那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。
羅茨真空泵壓縮氣體所需的功率與壓差成正比,一旦氣體壓差過(guò)高,泵就可能出現(xiàn)過(guò)載現(xiàn)象,造成電機(jī)繞組燒損。解決泵過(guò)載問(wèn)題的方法主要有以下幾種:
(1) 采用機(jī)械式自動(dòng)調(diào)壓旁通閥。 旁通閥安裝在羅茨真空泵的出口和入口之間的旁通管路上。此閥控制泵出入口之間的壓差不超過(guò)額定值。當(dāng)壓差達(dá)到額定值時(shí),閥門靠壓差作用自動(dòng)打開,承德羅茨真空泵哪里有賣,使羅茨真空泵出口和入口相通,使出入口之間的壓差迅速降低,這時(shí)羅茨真空泵在幾乎無(wú)壓差的負(fù)荷下工作。當(dāng)壓差低于額定值時(shí),閥自動(dòng)關(guān)閉,氣體通過(guò)羅茨真空泵內(nèi)由前級(jí)泵抽走。帶有旁通溢流閥的羅茨真空泵可以與前級(jí)泵同時(shí)啟動(dòng),使機(jī)組操作簡(jiǎn)單方便


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旋片式真空泵機(jī)存在泄漏點(diǎn)
對(duì)于旋片式真空泵機(jī)來(lái)說(shuō),出現(xiàn)機(jī)械密封件發(fā)生的泄漏的情況時(shí)有發(fā)生,而且泄漏所發(fā)生的部位也是相當(dāng)廣泛的,而且?guī)缀踹@會(huì)涉及所有的流體輸送與儲(chǔ)存的物體上,同時(shí)在在旋片式真空泵中,機(jī)械密
的配件。而且我們只有在保證機(jī)械密封完好的情況下,這樣才能保證好旋片真空泵真空度。
機(jī)械密封是一種廣泛使用的旋轉(zhuǎn)軸動(dòng)態(tài)密封組件,也稱為印zhang。它由至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸垂直于流體的壓力和張力補(bǔ)償機(jī)制(或磁場(chǎng))的影響為此目的,在貼合并,以保持相對(duì)滑動(dòng)關(guān)節(jié)的耦合形成的二次密
防止液體泄漏目的。對(duì)機(jī)械密封型號(hào)的工作原理是旋轉(zhuǎn)之間形成環(huán)和薄液膜軸,以防止介質(zhì)泄漏,而且還潤(rùn)滑結(jié)束,從而達(dá)到密封效果。
旋片真空泵用機(jī)械密封種類繁多,型號(hào)各異,但泄漏點(diǎn)主要有五處:
(1)軸套與軸間的密封;
(2)動(dòng)環(huán)與軸套間的密封;
(3)動(dòng)、靜環(huán)間密封;
(4)對(duì)靜環(huán)與靜環(huán)座間的密封;
(5)密封端蓋與旋片式真空泵體間的密封。
一般來(lái)說(shuō),軸套外伸的軸間、密封端蓋與旋片式真空泵體間的泄漏比較容易發(fā)現(xiàn)和解決,但需細(xì)致觀察。其余的泄漏直觀上很難辯別和判斷,須在長(zhǎng)期管理、維修實(shí)踐的基礎(chǔ)上,對(duì)泄漏癥狀進(jìn)行觀察、
能得出正確結(jié)論。
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